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URL: http://geb.uni-giessen.de/geb/volltexte/1999/95/


Untersuchungen zur Grenzempfindlichkeit von magnetoresistiven Sensorsystemen mit Flußkonzentratoren

Bettner, Claudio


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Universität Justus-Liebig-Universität Gießen
Institut: Institut für Angewandte Physik und Institut für Mikrostrukturtechnologie und Optoelektronik e.V. in Wetzlar
Fachgebiet: Physik
DDC-Sachgruppe: Physik
Dokumentart: Dissertation
Sprache: Deutsch
Tag der mündlichen Prüfung: 27.11.1999
Erstellungsjahr: 1999
Publikationsdatum: 30.11.1999
Kurzfassung auf Deutsch: Die Mikrosystemtechnik ist eines der am schnellsten wachsenden strategischen Felder zukunftsweisender Technologien, die zunehmend Einfluß auf die
verschiedensten Lebensbereiche gewinnt. Insbesondere auf dem Gebiet der Magnetoelektronik ergeben sich überall dort, wo magnetische Informationen in
elektrische Signale umgewandelt werden müssen, durch die Mikrosystemtechnik neue Anwendungsmöglichkeiten. Das bekannteste Einsatzgebiet von auf
magnetischen Effekten beruhenden miniaturisierten Sensorsystemen stellen Leseköpfe von Festplatten dar. Weitere Anwendungsfelder sind beispielsweise die
zerstörungsfreie Materialprüfung und die medizinische Diagnostik. Die Dissertation ist am IMO (Institut für Mikrostrukturtechnologie und Optoelektronik) in
Wetzlar in Verbindung mit dem Institut für Angewandte Physik in Gießen im Rahmen des FEMTO-Projektes entstanden. Ein Teilziel des vom BMBF
geförderten Projektes (16 SV 124) FEMTO (Feldsensorsystem extremer Auflösung auf magnetoresistiver Basis bei Normaltemperaturen) war die
Weiterentwicklung von AMR-Sensorsystemen in bezug auf eine Empfindlichkeitssteigerung und ein hohes Auflösungsvermögen bei Normaltemperaturen. In der
vorliegenden Arbeit wurde versucht, diese Ziele durch neue geometrische Strukturen und durch den Einsatz einer Kombination aus flußverstärkenden
Dünnschicht- und Folienantennen zu erreichen. Im Verlaufe des Projektes sind neue Aufbauprinzipien von Sensorsystemen untersucht worden. Hierbei sind
Optimierungen in der geometrischen Struktur sowie die Integration verschiedener Arten von Flußkonzentratoren erprobt worden. Der Einsatz von
Flußkonzentratoren war notwendig, um das effektive Sensorvolumen zu vergrößern, wodurch das Erreichen einer Magnetfeldauflösung im Femtotesla-Bereich
möglich erschien.